本發明公開了一種固相摻雜的鈣鈦礦光電二極管,包括鈣鈦礦光子吸收體、第一摻雜金屬層、第二摻雜金屬層、第一電極層和第二電極層;所述鈣鈦礦光子吸收體兩側分別沉積第一摻雜金屬層和第二摻雜金屬層,所述第一摻雜金屬層用于獲得n型摻雜,第二摻雜金屬層用于獲得p型摻雜;第一摻雜金屬層和第二摻雜金屬層的金屬離子滲透到鈣鈦礦光子吸收體,形成鈣鈦礦n型層和鈣鈦礦p型層;所述第一摻雜金屬層和第二摻雜金屬層兩側分別沉積第一電極層和第二電極層,從而構成鈣鈦礦同質結光電二極管。本發明提出的鈣鈦礦同質結的結區界面晶格匹配,界面缺陷少,可以提高光電二極管的探測量子效率,并且降低缺陷引起的散粒噪聲。
聲明:
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