本發明公開了一種用于鈣鈦礦薄膜光電器件制備的溶液介質退火方法。相對于當前鈣鈦礦薄膜的制備采用的在氣相介質中加熱退火的方式,本發明采用溶液介質退火工藝,使得退火過程中的氛圍為易控制的液相(導熱油),從而提高了鈣鈦礦薄膜制備的可重復性,同時使薄膜的晶體質量得到了很大的改善,最終使相應太陽能電池器件的光電轉換效率和穩定性得到顯著的提升。本發明公開的溶液介質退火工藝可廣泛應用于鈣鈦礦太陽能電池、鈣鈦礦發光二極管、鈣鈦礦光電探測器等諸多光電器件的制備。
聲明:
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