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    鋁鉻合金靶材的制備工藝及其應用

    946   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:03
    本發明屬于靶材制備技術領域，特別涉及一種鋁鉻合金靶材的制備工藝及其應用，靶材制備工藝包括步驟S1：合金粉末制備；步驟S2：將制備好的合金粉末裝入包套中，通過螺栓和螺母固定方式將包套的左右兩半塊拼合固定，進行冷等靜壓處理；步驟S3：對合金靶材坯料進行第一次脫氣處理；步驟S4：將步驟S3形成的合金靶材坯料進行第一次熱等靜壓處理，并進行第二次脫氣處理后取出包套；步驟S5：對第二次脫氣處理后的料坯裝入包套，進行第二次熱等靜壓處理；步驟S6：對第二次熱等靜壓處理的料坯取出包套，進行機加工和清洗處理，并進行真空熱處理；步驟S7：在步驟S6獲得的合金靶材表面修飾防腐層和隔熱層。本申請致密性高，晶粒均勻，具有較好的機械性能。
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    聲明：
    “鋁鉻合金靶材的制備工藝及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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