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    原子層沉積制備有機無機雜化鹵素鈣鈦礦材料的方法

    1050   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-01 00:40:04
    本發明屬于集成電路制造領域，其公開了一種原子層沉積制備有機無機雜化鹵素鈣鈦礦材料的方法，該方法主要包括兩部分：通過對材料基底進行3?氨基丙基三乙氧基硅烷(APTES)與氫碘酸或者十三氟辛基三乙氧基硅烷(FOTS)等表面處理，實現含鉛前體的有效附著，能夠形成一層單分子層；通入有機銨鹽前體與單層含鉛前體反應形成單層材料，多次循環得到最終的有機無機雜化鹵素鈣鈦礦光電材料。本發明方法利用氣相的原子層沉積方法，通過調控循環周期數進而得到所需厚度的薄膜材料，并且能夠制備出大面積均勻的鈣鈦礦薄膜，從而拓展有機無機雜化鹵素鈣鈦礦材料在太陽能電池、光探測器、激光器等光電領域的應用。
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    “原子層沉積制備有機無機雜化鹵素鈣鈦礦材料的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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