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    新型晶體管的制作方法

    1534   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-02 00:30:08
    本本發明提供一種新型晶體管的制作方法,將具有介電、鐵電、光電、熱電、超導、巨磁阻等性能的鈣鈦礦結構氧化物材料交叉耦合,采用全外延工藝,每層的層厚和載流子濃度都較鍺硅晶體管更易控制,結面更銳,加上鈣鈦礦結構氧化物材料熔點高,穩定性好,鈣鈦礦結構氧化物晶體管廣泛應用于電子器件,尤其是與錳酸鑭相關的晶體管對磁場很敏感,與鈦酸鋇相關的晶體管對熱光敏感,因此可制作一些特殊的探測器,也可發展成為鈣鈦礦結構氧化物集成電路。
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    “新型晶體管的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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