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    適用于鈦合金表面的納米多層薄膜及其制備方法

    841   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-04 00:30:07
    本發明提供一種適用于鈦合金表面的納米多層薄膜及其制備方法，該多層薄膜從鈦合金表面向外依次為氮化鈦薄膜層、碳化鈦薄膜層、氮化鈦薄膜層、碳化鈦薄膜層以及摻鋁的類金剛石薄膜層；該制備方法為先對鈦合金基體進行清洗以及抽真空，濺射沉積氮化鈦薄膜層，再濺射沉積碳化鈦薄膜層，然后分別重復沉積氮化鈦薄膜層與碳化鈦薄膜層一次，再制備一層摻鋁的類金剛石薄膜層，最后進行濺射后處理。與現有技術相比，本發明制備多層薄膜成品率高、方便、快捷、高效，其制備而成的薄膜與基體、薄膜與薄膜之間結合力大、內應力小，具有很好的耐摩擦磨損性能，可適用于航空航天、地質鉆探等高強度作業領域。
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