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    基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器及其制備方法

    1032   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-02-23 20:20:25
    本發明涉及光電探測器技術領域,提供了一種基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器,包括鈣鈦礦晶圓以及蒸鍍在所述鈣鈦礦晶圓兩端的金電極;其中,所述鈣鈦礦晶圓采用MA3Bi2I9多晶晶圓,厚度為0.6~1mm。本發明還提供了一種基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器的制備方法。本發明的優點在于:基于MA3Bi2I9鈣鈦礦晶圓器件,不僅制備簡單、材料利用率高,還具有較高的電阻率、較高的載流子遷移率,使得制備的晶圓X射線探測器具有較高的靈敏度和極低的X射線檢測下限。
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