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    具有光學微腔結構的鈣鈦礦光電探測器及其制備方法

    820   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-02-23 20:20:25
    本發明涉及屬于可見光探測技術領域,具體公開了一種具有光學微腔結構的鈣鈦礦光電探測器及其制備方法,包括自下而上依次設置的玻璃基板、透明導電電極層、光反射層、空穴傳輸層、鈣鈦礦敏感層、電子傳輸層、空穴阻擋層和金屬電極層,所述鈣鈦礦敏感層包括化學式為ABX3的典型鹵素鈣鈦礦材料、化學式為A1xA21?xBM,0<X<1的一價陽離子替代的鈣鈦礦材料、化學式為ABM1xM23?x,0<X<3的鹵素替代固溶體鈣鈦礦材料、化學式為AB1xB21?xM,0<X<1的金屬替代固溶體鈣鈦礦材料及二維鈣鈦礦材料中的多種,所述鈣鈦礦敏感層的厚度為50?5000nm。通過鈣鈦礦敏感層材料的設置及鈣鈦礦薄膜做厚實,實現電荷窄化吸收效應,能夠有效地窄化探測器的探測半波峰寬,提高探測器探測性能。
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