本發明提出了一種鈣鈦礦和硅組成的高效光探測器的制造方法,通過先將鈣鈦礦前驅體溶液滴在ITO透明導電薄膜中央,再將制絨單晶硅片金字塔絨面一側貼合在鈣鈦礦前驅體溶液上,可以讓鈣鈦礦材料迅速均勻地附著在制絨單晶硅的表面,制備方法簡單,省去旋膜法分散鈣鈦礦溶液的步驟,鈣鈦礦薄膜在手套箱內壓力和硅表面張力的作用下分散效果顯著,ITO與硅絨面之間形成致密且均勻的鈣鈦礦薄膜;加入絕緣透明黏合劑,增加硅片/鈣鈦礦/ITO的吸附,可以作為一個透明骨架支撐鈣鈦礦材料,加強入射光在鈣鈦礦材料的散射和吸收;加入包含氧化還原離子對的稀土元素的金屬氟化物,解決鈣鈦礦結晶時產生的缺陷增加、影響光響應度的問題。
聲明:
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