本實用新型涉及一種硅片加工廢水的處理裝置,屬于水處理技術領域。固液分離膜,用于對硅片加工廢水進行過濾處理;第一納濾膜、連接于固液分離膜的滲透側,用于對固液分離膜的濾液進行納濾處理;第二納濾膜,連接于第一納濾膜的截留側,用于對第一納濾膜的濃縮液進行納濾處理;中和反應槽,連接于第二納濾膜的截留側,用于對第二納濾膜的濃縮液進行加酸中和反應;酸液投加罐,連接于中和反應槽,用于向中和反應槽中加入酸。本實用新型具有過濾效果好、自動化程度高、適應性強、占地面積小等優點,因此本實用新型特別適用于硅片堿蝕液沖洗廢水的回收。
聲明:
“硅片加工廢水的處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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