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    BOE廢液制備氟化氫的方法及裝置

    1030   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 02:36:46
    本發明提出了一種BOE廢液制備氟化氫的方法及裝置，其中方法包括：BOE廢液與堿反應，生成氟化鹽溶液和氨水；汽提蒸出氨氣；所述氟化鹽溶液經過雙極膜電滲析分解為氫氟酸稀液和稀堿液；所述稀堿液加熱濃縮為濃堿液和廢水，所述濃堿液回用；所述氫氟酸稀液加熱蒸餾濃縮為濃氫氟酸和廢水；所述氫氟酸濃液與濃硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸；所述稀硫酸加熱濃縮為濃硫酸和廢水，所述濃硫酸回用。本發明以芯片蝕刻BOE廢液為原料，經過一系列處理后得到氟化氫產品，該過程中堿液、濃硫酸都進行了循環利用，整個反應過程實現了閉環，真正實現了變廢為寶，循環經濟，綠色環保的價值取向，適合工業化推廣應用。
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    聲明：
    “BOE廢液制備氟化氫的方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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