本發明公開了一種等離子流化生產鍺烷的方法,氫氣進入等離子氫發生器產生等離子氫進入流化床;與鍺粉進行流化反應生成鍺烷;反應物流的氣相增壓后進行冷凝,冷凝液塔的中上部進入脫輕塔進行輕組分雜質的去除,塔釜物料從中下部進入脫重塔進行重組分雜質的去除,塔頂得到純度不低于5N純度的鍺烷進入鍺烷產品罐。脫輕塔塔頂采出的輕組分雜質與脫重塔塔釜采出的重組分雜質進入尾氣燃燒器進行焚燒處理生產二氧化鍺粉末,再用氫氣進行還原生產鍺粉,得到的鍺粉進入鍺粉罐,循環利用。本發明解決了目前鍺烷生產效率低下,副產物與廢水產生等問題,不產生廢水和難以分離及處理的副產物,反應的效率高,產品純度高。
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