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    氯硅烷尾氣處理方法與裝置

    1082   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 03:11:16
    本發明提供一種氯硅烷尾氣處理方法，包括以下步驟：1)廢氣冷凝預處理階段，所述氯硅烷淋洗階段中廢氣進入第一級淋洗塔，除去酸性氣體；將廢氣中所含的氯硅烷氣體溫度降低到沸點以下，使得尾氣中的大部分氯硅烷氣體由氣態轉變成液態；余下未被冷凝的尾氣等不凝性氣體進行下一階段處理；所述冷凝后的液態氯硅烷流到氯硅烷冷凝液儲罐中，經冷凝液輸送泵加壓后輸送到氫化儲罐存儲循環備用；2)氯硅烷淋洗階段，經過冷凝預處理后的尾氣進行二級淋洗除去大部分酸性氣體，剩余尾氣中主要成分為氫氣，氮氣等不凝性氣體收集備用；淋洗后的廢水進行下一段處理；3)廢水處理階段，淋洗后的廢水經中和反應沉降為固態污泥排出。
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    聲明：
    “氯硅烷尾氣處理方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    廢水處理
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