一種水處理方法,可除去CMP廢水中所含的溶膠狀微粒以及含氮組分,具體為利用具有凝膠狀的第2過濾器的過濾裝置(13)進行過濾處理,除去CMP廢水中的溶膠狀微粒成分。另外通過利用電極(12)進行電化學處理,可以除去CMP廢水中的含氮組分。這些過濾處理以及電化學處理,可以使用獨立的槽進行,也可以在同一槽中進行。通過在同一槽內進行過濾處理以及電化學處理,可以提供節省空間的水處理裝置。
聲明:
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