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    硅片切割廢砂漿的回收方法

    917   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:31:42
    本發明提供了一種硅片切割廢砂漿的回收方法,包括以下步驟:a.硅片切割廢砂漿固液分離,得到固體砂料和液體份;b.步驟a中得到的液體份中加入脫色劑、離子吸附劑和助濾劑,固液分離,得到聚乙二醇切割回收液;c.步驟a中得到的固體砂料通過磁選分離去除金屬,得到硅與碳化硅的混合物;d.將步驟c中得到的硅與碳化硅的混合物在1425-1550℃下真空加熱;冷卻至室溫后篩網過濾,收集篩下的物質得到碳化硅微粉,收集篩上的物質得到硅塊;粉碎硅塊得到硅粉。本發明提供的回收方法非常環保,且對硅和碳化硅的分離較徹底,回收到的聚乙二醇、碳化硅和硅粉的純度較高。
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    “硅片切割廢砂漿的回收方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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