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    硅切削廢液的處理方法

    938   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:31:45
    本發明涉及硅切削廢液的處理方法。在含有固體成分的微粒分散的懸浮液即硅切削廢液中，添加極性非質子型溶劑、極性質子型溶劑、非離子型凝集劑、乙二胺多價酸及其鹽等的相分離成分，使廢液中的固相凝集沉淀，在廢液處理的最初階段確保良好的固液分離，使得廢液中的有用成分的分離回收容易。提供使得在以半導體元件制造等晶體硅為基材的加工工序中排出的硅切削廢液良好地固液分離、以低負擔且低成本分離回收硅切屑等的含有的有用成分供再生及再利用的處理方法。
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