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    廢氣處理裝置以及氣相沉積設備

    780   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:41:31
    本申請涉及光伏技術領域，具體而言，涉及一種廢氣處理裝置以及氣相沉積設備。廢氣處理裝置包括殼體，殼體沿第一方向具有相對的第一端和第二端，殼體具有內腔；內腔包括依次連通的第一導氣腔、第二導氣腔以及第三導氣腔；第二導氣腔沿第一方向的相對兩端具有上游口和下游口，第一導氣腔通過上游口與第二導氣腔連通，第三導氣腔通過下游口與第二導氣腔連通；第一端設置有與第三導氣腔連通的出氣口；殼體設置有與第一導氣腔連通的進氣口，進氣口與第二端之間的距離大于零；以及過濾元件，過濾元件設置于第一導氣腔、第二導氣腔以及第三導氣腔中的至少一個的內部。本申請的廢氣處理裝置能夠有效減少廢氣中含有的固體顆粒，避免堵塞排氣泵。
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    聲明：
    “廢氣處理裝置以及氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    固廢
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