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    三甲硅烷基胺的制備方法及系統

    1192   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:51:18
    本發明公開了三甲硅烷基胺的制備方法及系統，包括如下內容：將N2、H2、SiClxH4?x的混合氣體在電磁場作用下反應，0≤x≤2。本發明實現了氮氣與氫氣的非熱等離子體與氯硅烷的高效反應，在低溫低壓條件下成功制得三甲硅烷基胺，條件溫和，安全性高；且無固體副產物生產，產物分離難度小，無需固廢處理，工藝簡單，可操作性強，有利于大規模工業化生產。
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    聲明：
    “三甲硅烷基胺的制備方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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