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    Ⅲ族氮化物晶體的生長方法

    834   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:54:26
    一種Ⅲ族氮化物晶體的生長方法，包括以下步驟：把C片、固體的Ga-Na源材料及籽晶一起放于反應釜的坩堝中，密封反應釜，將反應釜加壓升溫至預定的過渡條件；Ga-Na源材料由固體變為Ga-Na溶液，C片由于密度小于Ga-Na溶液而漂浮在氣液界面，同時C片開始在Ga-Na溶液上部區域緩慢溶解，使得Ga-Na溶液上部區域處于高C濃度氛圍下；對反應釜繼續加壓升溫，加壓升溫至預定的生長條件（700～1000℃，1～50MPa），籽晶處開始GaN單晶生長；GaN單晶達到目標厚度后，對反應釜降溫降壓并排除廢液并取出晶體。本發明通過抑制N與Ga的結合，阻止GaN多晶的形成，提高了GaN單晶的生長速率。
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