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    使四鹵化硅及硅氫化成三鹵硅烷的裝置和方法

    756   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 04:54:26
    一種用于使四鹵化硅及冶金級硅(MGS)氫化成三鹵硅烷的反應器,其包括由冶金硅顆粒構成的底座、一個或多個進氣口、一個或多個固體進口、一個或多個固體排出口及一個或多個用于從反應器中移除三鹵硅烷的端口。由于進入反應器的四鹵化硅/氫氣進料流中夾帶進料硅顆粒以及在所述硅顆粒構成的底座上碰撞所述流而引起內部磨削及磨蝕,使底座顆粒上可形成新生表面。這樣具有的優點為較高的三鹵硅烷產率、較高的MGS燃耗率、可將廢MGS作為在離開反應器的三鹵硅烷排出物中所攜帶的細粉塵而去除、以及在停機進行底座移除之間間隔的時間較長。
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