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    利用絲網印刷工藝實現低成本叉指換能器和反射柵的制備

    738   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 04:59:35
    一種利用絲網印刷工藝實現低成本叉指換能器和反射柵的制備方法。該方法包括：根據應用場合的具體需求，設計聲表面波器件版圖，將待印刷的版圖制成用于絲網印刷的掩膜板；采用導電銀漿作為墨水，以拋光的壓電材料基片作為基材，按照給墨、刮墨和收墨的順序進行印刷；然后將印刷完畢的產品放入紅外烤箱內，逐漸加熱到130℃~150℃，并逐漸降溫至室溫，使得液體銀墨水能夠燒結為固體，并具有良好的導電性即可。本發明與傳統微電子光刻工藝形成強烈對比的顯著優勢包括：1.生產設備的成本低；2.生產過程的工藝簡便，成本也很低；3.制備過程中不產生廢液和廢氣，更加環保；4.易于實現大規模生產。
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