本實用新型公開了一種六氟化硫氣體回收及提純系統,它包括:凈化處理設備,用于去除粗六氟化硫尾氣中固體和/或水分和/或部分氣體污染物,得到初步凈化后的第一中間產物;與所述凈化處理設備連接的冷卻液化設備,用于對第一中間產物中的六氟化硫進行冷凝、液化,得到第二中間產物和第一次高濃度廢氣;與所述冷卻液化設備連接的精餾純化設備,用于對第二中間產物精餾純化,得到高純度的六氟化硫液體,同時使得第二中間產物中殘留的雜質相變為氣態,作為第二次高濃度廢氣排出;與所述精餾純化設備連接的固化回收設備。本實用新型的一種六氟化硫氣體回收及提純系統,回收純度高,能夠減少液氮的消耗。
聲明:
“六氟化硫氣體回收及提純系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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