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    多晶硅太陽能電池酸腐制絨用光刻膠的去除方法

    1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 05:40:01
    本發明公開了一種多晶硅太陽能電池酸腐制絨用光刻膠的去除方法，其步驟為：硅片刻蝕后的有機光刻膠掩膜通過燒結爐在高溫下將光刻膠掩膜燒掉，然后采用酸洗去除表面氧化層和殘余有機雜質。本發明有機光刻膠掩膜的快速去除方法，是一種純物理的光刻膠去除方法，相對于目前常用的有機光刻膠去除方法，無有機溶劑和酸堿溶劑污染，無廢液排放，大大降低了化學溶劑的消耗以及后續污染處理，降低了生產過程中的危險性，還大大降低了成本，提高了生產效率。
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