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    掩模板的清洗系統和清洗方法

    955   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:12:44
    本發明實施例公開了一種掩模板的清洗系統和清洗方法。該掩模板的清洗系統包括：掩模板支撐設備和清洗設備，所述掩模板支撐設備用于支撐掩模板；所述清洗設備用于向所述掩模板的表面吹超聲波氣體，所述超聲波氣體為經超聲波處理的氣體；所述超聲波氣體的流速大于預設速度，以在所述掩模板表面形成空化泡，清洗所述掩模板表面的污漬。與現有技術相比，本發明實施例在確保對掩模板的清洗效果的基礎上，減少了藥液用量、減少了產生的廢液量以及降低了危險性。
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    聲明：
    “掩模板的清洗系統和清洗方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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