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    用于光譜組成分析的晶片顆粒缺陷的活化

    1157   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:45:15
    本文中描述用于檢測晶片表面上的顆粒缺陷，將所述顆粒轉化為光譜活性狀態，且通過光譜技術來識別所述經活化的顆粒的材料組成的方法及系統。顆粒缺陷是通過化學處理、熱處理、光化學處理或其組合轉化，使得經活化的顆粒展現可光譜觀察的原子振動帶。在一個實施例中，表面檢驗系統檢測晶片表面上顆粒缺陷的存在，活化所述經檢測的顆粒中的一或多者中的可觀察拉曼帶，且通過光譜技術來識別所述經活化的顆粒的所述材料組成。通過在相同檢驗工具上執行缺陷檢測及組成分析兩者，無需將晶片轉移到不同重檢工具或工具組合，以執行沉積在半導體晶片上的顆粒缺陷的組成分析。
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