本發明公開了一種球面阻滯勢分析儀的制造方法,首先采用沖壓成型和熱處理定型對金屬板材進行加工以獲得球面構型件,然后采用電化學刻蝕加工獲得薄球面構型件,再采用超快激光刻蝕加工獲得球面型柵極組件,最后采用機加工方法獲取殼體和收集極,將球面型柵極組件和收集極裝配于殼體上,以獲得球面阻滯勢分析儀;本方案采用通過電化學刻蝕獲得薄球面構型件,以最大限度的保證柵孔加工球面的形狀精度,再針對薄壁易變形的特點,采用超快激光刻蝕獲得球面高形狀精度和高柵孔同軸裝配精度的球面型柵極組件,進而裝配獲得具有球面型柵極組件的球面阻滯勢分析儀,并通過球面型柵極組件實現對離子液體電噴霧推力器中的帶電粒子能量的準確測量。
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