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    防止激光化學氣相沉積中沉積氣體結晶化的裝置和方法

    1011   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:30
    本發明涉及一種防止激光化學氣相沉積中沉積氣體結晶化的裝置和方法，所述裝置包括沉積氣體儲存容器、反應腔體以及連接兩者用于輸送沉積氣體的管路，沿所述沉積氣體的流動方向，所述管路包括至少兩個溫度流失區域；對應所述溫度流失區域，所述裝置還設置溫度保持裝置與第一溫度監測裝置，所述第一溫度監測裝置的監測目標溫度呈遞增趨勢。利用所述裝置，可以保持所述管路內的沉積氣體為持續氣化狀態，有效地防止了沉積氣體在管路內部或反應腔體內的基板上遇冷凝固發生結晶化現象，有效地避免了管路堵塞或基板報廢等嚴重問題，有效地避免了巨大的經濟損失。
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    “防止激光化學氣相沉積中沉積氣體結晶化的裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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