本發明公開了一種高強石墨烯膜基聲波探測器,該探測器以高強石墨烯膜為主要探測器件,經過組裝設計,形成電容器。聲波震動,引起石墨烯膜的震動,改變石墨烯膜和基底(電容器的另一極)之間的距離,進而引起電容變化,產生電流信號。此高強石墨烯經真空過濾成膜、化學還原、固相轉移、金屬噴涂、中溫碳化、綠氣氯化、高溫石墨化等步驟得到。該薄膜整體為石墨烯結構,片層間有大量層間交聯結構。整體薄膜厚度為20?50nm。此石墨烯膜電導率可控、強度可調,可用作高強聲波探測器件。
聲明:
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