本發明涉及工程材料技術領域,具體涉及一種納米壓痕法研究膜?基體復合結構力學性質的方法及系統。所述膜?基體復合結構力學性質的方法包括:陽極化處理,在基材表面原位、實時生長氧化膜;壓痕處理,中止極化并對所述氧化膜進行壓痕處理。所述陽極化處理步驟和所述壓痕處理步驟交替進行N次,N≥2,測試不同厚度比條件下的膜?基體復合結構的彈性模量和硬度,利用納米壓痕理論建立實驗測量得到的模量和硬度與膜、基體各自的模量和硬度之間的關系。所述測試膜?基體復合結構力學性質的系統包括電化學組件和納米壓痕組件,可以極大程度地拓展納米壓痕儀所能實現的問題研究范圍,并為研究電化學環境下薄膜?基體變形機理提供新的分析手段。
聲明:
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