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    利用安培力測定金屬薄膜/基板界面疲勞性能的方法

    934   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:20
    本發明公開了一種利用安培力測定金屬薄膜/基板界面疲勞性能的方法,采用光刻技術將所需要的“工”字形圖形復制在涂有光刻反膠的基板材料上,線寬1-10微米;金屬薄膜厚度為200納米至5微米;在基板材料上得到的是凸起的“工”字形金屬薄膜材料,兩端的金屬薄膜部分則用于加電流時與外部電源連接;將處在交流電作用下的“I”字形的金屬薄膜部分平行地置于量程為0-6T的外加磁場中,產生5-20MPa的安培力,采用光學顯微鏡原位觀察金屬薄膜的剝離,動態監測金屬薄膜的疲勞失效。本發明可直接測定膜基界面的疲勞性能,避免了以前的各種測試如劃痕法、壓入法等缺點,不需要在計算模型的前提下得出疲勞性能。
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