1.本實用新型涉及石英坩堝技術領域,具體為單晶石英坩堝生產用可過濾氣泡雜質裝置。
背景技術:
2.石英砂是石英石經破碎加工而成的石英顆粒。石英石是一種非金屬礦物質,一種堅硬、耐磨、化學性能穩定的硅酸鹽礦物,從礦山開采出的石英石經加工后,經粉碎、篩選、水洗等工藝加工而成。外觀呈多棱形、球狀,純白色,具有機械強度高、截污能力強、耐酸性能好等特點。
3.石英坩堝,具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點,應用越來越廣泛,石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料,在制作石英坩堝時,如果所使用的石英砂內混有雜質,會使得石英坩堝表面產生氣泡,從而影響石英坩堝的質量,所以在使用前需要對石英砂進行過濾。
4.現有的過濾設備,在使用過程中過濾篩震動的幅度和頻率過小,導致過濾效果不佳。
技術實現要素:
5.本實用新型的目的在于提供單晶石英坩堝生產用可過濾氣泡雜質裝置,以解決上述背景技術中提出的問題。
6.為了解決上述技術問題,本實用新型提供如下技術方案:單晶石英坩堝生產用可過濾氣泡雜質裝置,包括支撐臺,所述支撐臺內壁設有凹槽,所述凹槽頂端設有殼體,所述殼體底端一側通過轉軸一與所述凹槽轉動連接,所述殼體底端另一側通過偏心塊與所述凹槽活動連接,所述偏心塊內壁套設有轉軸二,所述殼體內壁設有過濾組件,所述殼體外壁于所述凹槽一側設有動力組件,所述殼體內壁于所述過濾組件上方設有輔助機構,所述支撐臺外壁設有縮口管,所述縮口管通過風琴管與所述殼體連接。
7.進一步的,所述過濾組件包括滑軌,所述滑軌對稱設于所述殼體內壁,所述滑軌頂端活動設有過濾箱,所述過濾箱內壁設有過濾網,所述過濾箱外壁貫穿于所述殼體一側活動設有擋板。
8.進一步的,所述過濾箱與所述滑軌相匹配,所述擋板頂端延伸至所述殼體外壁,所述擋板通過轉軸三與所述殼體轉動連接,所述過濾箱外壁于所述擋板下方設有拉手,便于抽拉過濾箱。
9.進一步的,所述轉軸二與所述凹槽轉動連接,所述動力組件包括電機一,所述電機一設于所述轉軸二外壁延伸至所述殼體外側一端,所述電機一底端通過安裝塊與所述殼體連接,對電機一進行支撐。
10.進一步的,所述輔助機構包括掛板,所述掛板對稱設于所述殼體內壁,所述掛板通
過掛鉤與所述殼體活
聲明:
“單晶石英坩堝生產用可過濾氣泡雜質裝置的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)