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    多晶硅鑄錠用石英坩堝的制造方法

    1085   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:29:00
    本發明公開了一種多晶硅鑄錠用石英坩堝的制造方法,包括漿料的制備和坯體的成型,將部分的石英粉料、部分含有聚合物單體和交聯體的添加劑和全部去離子水一起進行球磨,球磨至要求的粒度后再加入剩余石英粉料及剩余添加劑進行二次球磨,得到漿料,將適量合格的漿料進行攪拌,攪拌的同時注入引發劑和催化劑,將攪拌后的漿料動態加壓注入模具中后進行加熱固化,加熱固化過程中有機聚合物單體交聯聚合成三維網絡狀聚合物凝膠,將石英粉料粘結固化形成胚體,本發明所述制造方法生產周期短、效率高、成本低,適應大批量工業化生產的需要,根據本發明制造出來多晶硅鑄錠用石英坩堝尺寸變形量小、顯氣孔率低、耐壓強度和抗折強度高。
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