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根據工業生產的實際需要,在散裝物料必須反向輸送和投加的地方,采用VRV雙向給料機??筛鶕枨筇峁╇姶耪駝?電機振動。兩種驅動器。
該PECVD(等離子化學氣相沉積系統)系統,有多路質量流量計系統(進口流量計),真空機組(進口真空泵),PE射頻電源(進口射頻源),溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時擴大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實驗要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。
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