iMicro高精度微納米壓痕儀
KLA公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發器, iMicro微納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和優線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解,以及具有良好靈敏度的三片式電容傳感器的設計,保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高分辨的控制。1000mN載荷范圍,6nN加載精度,0.04nm位移精度。
? 快速準確的動態納米壓痕測試
? 電磁加載方式
? 快速準確的位移測量
? 超高框架剛度
? 熱漂移 <0.05nm/s
主要功能
靜態/動態納米壓痕:楊氏模量/硬度
連續剛度:高準度薄膜測試,楊氏模量/硬度,<100nm
DMA功能:橡膠等粘彈性材料存儲模量/損耗系數
劃痕測試
高溫納米壓痕300℃
斷裂韌性測試
橫向加載,泊松比測試
3D/4D 楊氏模量/硬度mapping
技術特點
?電磁制動器適用于包括IMicro在內的納米力學公司生產的所有系統
?這些執行器是一種堅固的線性裝置,具有固定的解耦力和位移。大的力為1N,分辨率為6nN,低噪音<200nN。
?IMicro的時間常數為20us,是一種能滿足規格要求,大壓痕為80um噪聲小于0.1nm,數字分辨率為0.04nm,漂移率<0.05nm/s
?IMicro包括InView軟件,它提供非常強大和直觀的實驗腳本平臺,可以用于設計新穎的實驗。有經驗的用戶可以使用IMicro進行幾乎所有小規模的機械測試。
?樣品臺移動Z軸為25 mm,X為100 mm,Y軸為150 mm,可測試各種樣品高度和大樣品區。
?載荷剛度>3,500,000N/m
?特的TiP-calibration系統集成到軟件中,可以快速、準確、自動的對尖端進行校準??蛇x擇NanoBlitz地形和斷層掃描軟件來執行
?更高的負載和更廣泛的應用使IMicro成為世界上研究實驗室的選擇
?允許進行廣泛的測試,包括但不限于特定頻率的實驗、存儲和損失模量、模量和硬度(Oliver和Pharr)和恒定應變率。
?多功能執行機構可用于測試多種材料,從超軟凝膠到硬涂層。
?可用的劃痕選項,大負載為50mN,大劃痕偏差為2.5mm,大劃痕速度為500um/s。