XE-15大樣品臺工業原子力顯微鏡
Park XE-15大樣品臺工業原子力顯微鏡是專為共享實驗室、多變量實驗和晶片失效分析設計的高性能設備。它具備100μm×100μm的XY柔韌導向掃描范圍和12μm(可選25μm)的撓性導向強力Z掃描,配備滑動連接的超亮二級管頭和多樣品夾頭。此外,選配的編碼器XY自動樣品載臺和垂直對齊的電動Z載臺及聚焦載臺,進一步提升了操作的便捷性和成像效率。6寸樣品臺的設計使其能夠容納較大尺寸的樣品,實現多樣品一次性自動成像,提高數據精確性和穩定性,滿足多樣化的研究需求。
簡介
ParkXE15具備多個特殊功能,是共享實驗室處理各種樣品,研究員進行多變量實驗,失效分析時研究晶片等的不二選擇,合理的價格搭配強健的性能設置,ParkXE15能夠實現多樣品一次性自動成像,實現效率大化,您只需要將樣品放在樣品臺上,在啟動掃描程序便可,該功能還可以在相同環境條件下掃描樣品,從而大大提高數據的精確性和穩定性,同時他還配有全面的掃描模式,可掃描各種尺寸的樣品。
基本技術特點
100μmx100μm掃描范圍的XY柔韌導向掃描
撓性導向強力Z掃描12μm(25μm選配)
滑動連接的超亮二級管頭
多樣品夾頭
選配編碼器的XY自動樣品載臺
垂直對齊的電動Z載臺和聚焦載臺
6寸樣品臺