Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡
簡介
KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡基于ZDot技術而來。Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡可以對大部分材料和結構進行成像分析,從光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介質。KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡使用模塊化設計理念,為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項來滿足各種不同的測量需求,所有硬件安裝和操作都簡單易用。
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產品介紹:
KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡基于ZDot技術而來。Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡可以對大部分材料和結構進行成像分析,從光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介質。KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡使用模塊化設計理念,為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項來滿足各種不同的測量需求,所有硬件安裝和操作都簡單易用。
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產品特點:
Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡提供多種光學測試技術,以滿足用戶各種不同領域的測試需求。
ZDotZ點陣三維成像技術是Zeta所有系列產品的標配技術,Z點陣獨特的明暗場照明方案結合不同物鏡幫助客戶測量“困難”的表面。
ZIC干涉反襯成像技術,實現納米級粗糙度表面的成像及分析。
ZSI白光差分干涉技術,垂直方向分辨率可達埃級。
ZI 白光干涉技術,大視場下納米級高度的理想測量技術。
ZFT反射光譜膜厚分析技術,集成寬頻反射光譜分析儀,可測量ULA+ 2et-20薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產品優勢:
重復性和再現性
接觸式測量,適用于多種材料
測量軟材料的微力控制
梯形失真校正可大幅度減少側視圖造成的失真
弧形校正補償探針的弧形運動
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡產品測量原理:
KLA Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡的原理是通過共聚焦原理實現樣品的高分辨率、高對比度的光學切片能力。它結合了傳統光學顯微鏡和激光共聚焦顯微鏡的特點,利用寬譜白光作為光源,通過空間濾波機制消除離焦光干擾,從而獲得高精度的三維圖像。