工作原理
LH-600E采用高精度光柵尺與閉環伺服電機雙核驅動系統,搭配激光干涉定位補償技術。測量時,測頭在X/Y雙軸方向由氣浮導軌驅動,光柵尺實時捕獲測頭位移數據,精度達0.05μm;閉環伺服系統通過編碼器反饋動態修正測頭路徑,消除機械回程誤差與振動干擾。激光定位模塊可快速鎖定被測工件邊緣,結合智能觸測力控制系統,以0.2N級微力接觸工件表面,避免因壓力導致變形,確保測量數據真實反映工件實際形貌。系統內置溫度補償算法,可自動修正環境溫度對金屬熱脹冷縮的影響,保障全溫域測量穩定性。
應用范圍
覆蓋多場景的二維高度檢測需求:精密模具型腔深度與平面度驗證、半導體晶圓表面臺階高度篩查、電子連接器針腳共面性分析、航空航天葉片榫槽垂直度測量等。其測量范圍達600×400mm(X/Y軸),精度±(0.8+L/500)μm(L為測量長度),適配從微小電子元件到大型機械部件的檢測需求,尤其適合生產線在線檢測與實驗室高精度測量雙重場景,助力企業實現二維尺寸檢測的標準化與智能化升級。
技術參數
測量范圍600×400×200mm(X/Y/Z軸),分辨率0.01μm,精度±(0.8+L/500)μm;測頭移動速度0.1-100mm/s可調,觸測力0.2-10N可調;配備15英寸高清觸控屏,支持中英文雙語操作與三維形貌實時渲染;防護等級IP54,抗油污、防塵設計通過48小時連續噴淋測試;內置鋰電池續航超12小時,支持USB-C快速充電與5G無線數據傳輸;提供RS232、USB、以太網及IoT接口,兼容MES/QMS系統數據直傳與遠程運維。
產品特點
日本原裝進口,核心光柵尺經超精密研磨與動態校準,壽命超100萬次測量;智能校準模塊支持一鍵完成測頭零點修正與多軸垂直度校準;模塊化設計支持擴展輪廓度、同軸度測量功能;全封閉式花崗巖基座搭配主動減震系統,抗干擾能力提升85%;一鍵生成3D測量報告功能,通過藍牙連接打印機或移動終端直接輸出ISO/ASME標準合規報告,助力企業突破二維尺寸檢測的精度與效率極限,推動高端制造品質邁向國際領先水平。