權利要求書： 1.一種廢水處理系統，用于對晶圓背面減薄裝置的研磨廢水進行處理，所述晶圓背面減薄裝置的內部設有研磨機和排水管(100)，所述研磨機產生的研磨廢水通過所述排水管(100)排出，其特征在于，所述廢水處理系統包括：管路式粉碎機(200)，所述管路式粉碎機(200)設置在所述排水管(100)上，所述管路式粉碎機(200)用于對所述排水管(100)內的所述研磨廢水中的晶渣進行粉碎；以及廢水分離箱(300)，所述廢水分離箱(300)與所述排水管(100)的排水口連通，所述廢水分離箱(300)被配置將所述管路式粉碎機(200)處理后的所述研磨廢水進行固液分離，經過所述廢水分離箱(300)固液分離后的所述研磨廢水收集到排放池(400)內。
2.根據權利要求1所述的廢水處理系統，其特征在于，所述廢水分離箱(300)包括箱體(310)和過濾網(320)，所述過濾網(320)設置在所述箱體(310)內，所述箱體(310)上設有進液口(330)和出液口(340)，所述進液口(330)設置在所述過濾網(320)的上方，所述進液口(330)與所述排水管(100)的排水口連通，所述出液口(340)設置在所述過濾網(320)的下方，所述出液口(340)與所述排放池(400)連通。
3.根據權利要求2所述的廢水處理系統，其特征在于，所述過濾網(320)設置為“凹”字形結構，所述過濾網(320)包括第一橫網板(321)、豎網板(322)和第二橫網板(323)，所述第一橫網板(321)、所述豎網板(322)、所述第二橫網板(323)、所述豎網板(322)、所述第一橫網板(321)依次連接，所述第一橫網板(321)與所述箱體(310)的側壁連接。
4.根據權利要求3所述的廢水處理系統，其特征在于，所述第一橫網板(321)的截面面積大于所述進液口(330)的截面面積。
5.根據權利要求2所述的廢水處理系統，其特征在于，所述廢水處理系統包括第一管路，所述第一管路的一端連通所述排水管(100)的排水口，所述第一管路的另一端連通所述廢水分離箱(300)的所述進液口(330)。
6.根據權利要求5所述的廢水處理系統，其特征在于，所述廢水處理系統包括第二管路，所述第二管路的一端連通所述廢水分離箱(300)的所述出液口(340)，所述第二管路
聲明：
“廢水處理系統及晶圓背面減薄裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：寧波芯豐精密科技有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
