本發明涉及一種超純亞微米級硅微粉泡沫化的制備方法,其特征在于:(1)選取高純石英砂為原料;(2)用擦洗機洗礦,用過濾機脫水,清洗介質為去離子水,得到高純石英砂;(3)在攪拌磨中濕法磨礦,分散介質為去離子水,加1~6%硅烷偶聯劑,得D50≤0.8μm、D100≤8μm料漿;(4)將漿料加入分散機,加1~5%起泡劑、0.25~1.0%泡沫穩定劑、0.25~1.0%泡沫粘度促進劑,攪拌形成穩定的泡沫化料漿;(5)將泡沫化料漿加到烘干機,烘干溫度≤200℃,隨后加到氣流粉碎機中解聚分級即可。本發明優點:有效解決干燥過程中粉體團聚的行業性難題,省略了必不可少的打散工藝,工藝簡單、成本低;超純亞微米硅微粉D50≤0.5μm、D100≤5μm,可用于EMC及CCL等高端電子領域。
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