本發明提供了一種具有內建電場的TiO2異相結紫外/深紫外探測器件及其制備方法。探測器自下而上的組成依次為透明導電襯底,TiO2金紅石相薄膜,TiO2銳鈦礦相薄膜和導電電極。其特征在于探測器具有TiO2金紅石相和銳鈦礦相組成的同質異相結,通過TiO2不同晶相間形成的內建電場促進光生載流子定向分離,降低光生載流子的復合。與傳統TiO2基紫外探測器相比,本發明具有無需外加偏壓,響應速度快,響應靈敏度高,制備方便等優點。在小于385nm的紫外光照下,在沒有外加偏壓的測試條件下,自驅動的紫外探測器的光響應可達到1.67mA/cm2。本發明為紫外/深紫外光探測提供了一種新的方法。
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