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    低氧鉭靶材及其制備方法

    1076   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:58:01
    本發明提供了一種低氧鉭靶材及其制備方法，所述制備方法包括以下步驟：(1)將鉭源置于氫化裝置并抽真空，通入氫氣加熱，待氫化裝置內壓力不再下降時停止加熱，得到氫化鉭源；(2)將步驟(1)所述氫化鉭源依次進行破碎和熱處理后，得到脫氫鉭粉；(3)將步驟(2)所述脫氫鉭粉依次進行冷等靜壓、真空燒結、脫氣處理和熱等靜壓，得到低氧鉭靶材。本發明將脫氫鉭粉采用冷等靜壓、真空燒結和熱等靜壓相結合的方式，大大降低鉭靶材的氧含量，鉭靶材的氧含量低于100ppm，同時保證了鉭靶材的純度和致密度，致密度高達99.9％，純度高達99.9999％，具有較好的工業應用前景。
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    聲明：
    “低氧鉭靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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