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    集成黑硅納米結構吸收層及多層組合膜結構的敏感元件

    759   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-02 00:30:09
    本發明涉及紅外氣體探測器的敏感元件，具體是一種集成黑硅納米結構吸收層及多層組合膜結構的敏感元件，進一步提高了熱釋電薄膜型紅外氣體探測器的檢測性能。所述敏感元件由兩塊敏感元基片加工獲得，其加工方法包括：1、加工第一敏感元基片；2、加工第二敏感元基片；3、加工敏感元件。加工工藝合理，所得敏感元件具備良好的熱吸收性能和熱響應性能，能用于構建高性能紅外氣體探測器，滿足環境安全、煤礦生產安全、以及?；窔怏w儲運、煤氣管道防泄、森林火災防護、工業安全生產等領域中的監測需要。
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    “集成黑硅納米結構吸收層及多層組合膜結構的敏感元件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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