本發明的課題在于,在向硅晶片的蝕刻廢水中添加酸而析出二氧化硅并對該析出的二氧化硅進行固液分離的方法中,能夠實現減少凝聚劑的必要添加量、減少生成污泥的容積、降低污泥含水率和提高脫水性,且實現處理水質的穩定。為了解決該課題,將酸與部分固液分離污泥混合后將其添加到硅晶片的蝕刻廢水中。通過向污泥中添加并混合酸,利用酸對污泥表面進行改性,由此使二氧化硅在污泥表面析出,其結果,能夠最低限度地抑制被污泥所吸取的水量。因此,能夠得到含水率低且脫水性優異的污泥,且凝聚劑的必要添加量減少,由此污泥生成量也會減少,且污泥的固液分離性得到提高,從而處理水質也穩定。
聲明:
“硅晶片的蝕刻廢水處理方法以及處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)