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    微電子行業廢磷酸資源化利用方法

    1212   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 02:39:33
    本發明公開了一種微電子行業廢磷酸資源化利用方法，涉及液晶面板、半導體晶圓、集成電路企業電子級廢磷酸資源化制備工業級磷酸脲的方法。包含以下步驟：(1)廢磷酸與尿素升溫反應合成；(2)磷酸脲配置液靜態吸附通過活性炭、陽離子交換樹脂、陰離子交換樹脂；(3)去離子磷酸脲溶液負壓蒸發濃縮冷卻結晶分離；(4)一次結晶加水升溫重溶再冷卻重結晶；(5)低溫熱風干燥重結晶晶體。本發明與現有電子級廢磷酸降級使用相比，能夠得到高純度磷酸脲產品，具有較高的工業價值，具有廣闊的市場應用前景。本發明全處理過程操作簡單、投入試劑廉價、副產廢物滿足一般生化廢水站要求，是電子級廢磷酸資源化利用的最優選擇。
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    “微電子行業廢磷酸資源化利用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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