本發明提供了一種利用惰性氣體產生大直徑均勻等離子體羽的裝置及方法。該裝置利用針電極、介質管及平板電極組成噴槍結構,通過在針電極上施加高壓交流電壓,在介質管敞口端的開放環境產生非均勻絲狀等離子體羽,之后逐漸增加在平板電極上施加的高壓正直流電壓,使得非均勻絲狀等離子體羽轉變為均勻等離子體羽。在本發明實施例中所產生的均勻等離子體羽最大直徑為20mm,大于現有大多數在惰性氣體中產生的大氣壓等離子體羽的直徑,且不需要添加其他氣體,提高了處理速率和效率,適宜大規模工業應用,在表面處理、廢水凈化、殺菌消毒、元素探測、飛行器減阻、航空器隱身等領域具有深遠的意義。
聲明:
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