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    用于重金屬監測的金納米帶三電極傳感器及其制備方法

    742   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 02:43:40
    本發明公開了一種用于重金屬監測的金納米帶三電極傳感器及其制備方法。本發明選用硅片或玻璃作為基底，采用MEMS技術將電極材料沉積在基底上，并通過光刻技術完成電極的制作，接著采用PECVD法沉積Si3N4絕緣層，再光刻出電極表面及焊盤，然后用高精度硅刀切割基底，在切面處暴露出納米級的金工作電極；最后將電極與PCB板通過金線壓焊在一起，并用環氧樹脂密封，完成傳感器的制作。本發明可用于溶液中陰陽離子濃度的定量檢測，修飾后可對生物分子進行定性檢測，可應用于環境監測、生物醫學、工業廢水廢氣等領域。
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