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    可裁剪的雙面納米帶電極陣列集成傳感器及制備方法

    1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 02:44:46
    本發明公開了一種可裁剪雙面納米帶電極陣列集成傳感器及其制備方法。選用硅片或玻璃作基底,采用MEMS技術將兩種不同的電極材料沉積在基底的正反兩個平面上,以光刻技術形成上下面對稱的梳狀工作電極和參考電極陣列,采用PECVD方法在兩側分別沉積有氮化硅絕緣層,光刻露出焊盤,在兩面絕緣層上刻制與電極方向垂直的多條切割線。傳感器定期裁剪拋光,多次使用延長器件壽命,提高并保持電極的一致和穩定性。傳感器固定在TEFLON腔體內,采用差分脈沖陽極溶出伏安法,采集被測溶液的阻抗以及氧化還原電流信號。本發明可在江河湖海、生物醫學、工業廢水廢氣等領域中直接對溶液中的陰陽離子濃度進行定量檢測,進行表面修飾后可對生物分子進行定性檢測。
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