本實用新型提供一種從硫酸廢液回收制備電子級硫酸的系統,其可通過處理硫酸廢液制取電子級硫酸,提高半導體工業酸洗廢水的資源利用效果;其包括原料儲罐,原料儲罐依次連接電滲析裝置、預熱器、蒸發器和分餾柱,分餾柱分別連接硫酸成品儲罐和尾氣處理裝置,分餾柱包括上部的填料柱和下部的套管結構,在填料柱和套管結構之間設有中隔,蒸發器通過加熱器連接形成內循環管路,分餾柱和硫酸成品儲罐之間連接有緩存罐,緩存罐的出口管道還與內循環管路連通。
聲明:
“從硫酸廢液回收制備電子級硫酸的系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)