本發明是一種吹氣腐蝕機及腐蝕、清洗方法,其特征是進氣閥與進氣管相連,進氣管的一端與盤管筒相接,另一端與A氣室連接;加工時將晶片置于吹氣瓶底部,并加設加蓋蒙網,吹氣瓶安裝在A氣室上,吹氣瓶與腐蝕溶液槽中的A氣室通過快速密封螺紋連接;凈水機終端通過進水閥與進水管一端連接,進水管的另一端與B氣室相連,廢水管接純凈水槽上的溢水孔,水蒸氣管接抽風孔,監控系統設置在控制柜上。優點:在腐蝕作業和清洗作業時,壓縮空氣經流量控制,晶片翻騰的分散游離不會產生疊片貼合和腐蝕痕不良品;腐蝕瓶與氣室是快速螺紋連接,安裝和拆卸操作便捷;單瓶裝片量比搖籃提高3000pcs,產能效率高;結構簡單,無須伺服電機控制。
聲明:
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