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    高轉換效率SE-PERC太陽能電池的制備方法

    965   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 02:57:48
    本發明公開了一種高轉換效率SE?PERC太陽能電池的制備方法，涉及太陽能電池技術領域，包括以下制備步驟：1）制絨2）；磷擴散；3）激光重摻雜；4）氧化；5）去PSG；6）堿蝕刻拋光：將硅片背面進行堿蝕刻拋光；7）去除硅片正面的硅磷玻璃；8）退火；9）在硅片表面鍍雙面氧化鋁鈍化膜；10）正面沉積減反射膜；11）背面沉積鈍化膜；12）背面激光開槽；13）絲網印刷；14）燒結；本發明使用的是堿蝕刻技術，相對于酸蝕刻，可以降低刻蝕酸使用量，減少酸廢水成本處理，有利于環保，且在激光重摻雜后、去PSG前增加了一到氧化工序，可以保證PN結不會受損傷，也可以對硅片有良好的鈍化效果，對轉換效率有明顯提升。
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    “高轉換效率SE-PERC太陽能電池的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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